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采用有鐵芯直線電機BFM系列
高速度，高加速度
采用光柵尺或磁柵尺，分辨率可達0.1μm
定位精度可達5μm，重復定位精度可達2μm
可搭接XY平臺
可安裝多個滑臺，并可分別控制
單軸總長度可達4000mm
1.有鐵芯直線電機 BFM系列
2.高速度，高加速度
3.采用光柵尺或磁柵尺，分辨率可達0.1μm
4.定位精度可達5μm，重復定位精度可達2μm
5.可安裝多個滑臺，并可分別控制
6.單軸總長度可達3000mm
采用無鐵芯直線電機BUM系列
高速度，高加速度
采用光柵尺或磁柵尺，分辨率可達0.1μm
?定位精度可達5μm，重復定位精度可達2μm
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