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查看詳情LPS140系列
    采用有鐵芯直線電機BFM系列 高速度,高加速度 采用光柵尺或磁柵尺,分辨率可達0.1μm 定位精度可達5μm,重復定位精度可達2μm 可搭接XY平臺 可安裝多個滑臺,并可分別控制 單軸總長度可達4000mm
查看詳情LPS70模組
    1.有鐵芯直線電機 BFM系列 2.高速度,高加速度 3.采用光柵尺或磁柵尺,分辨率可達0.1μm 4.定位精度可達5μm,重復定位精度可達2μm 5.可安裝多個滑臺,并可分別控制 6.單軸總長度可達3000mm
查看詳情LPS2系列平臺
    采用無鐵芯直線電機BUM系列 高速度,高加速度 采用光柵尺或磁柵尺,分辨率可達0.1μm ?定位精度可達5μm,重復定位精度可達2μm
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